シリコンウェーハを製造している工場で、ウェーハ研摩装置の研磨剤のシリカ搬送用に塩ビホースを使用。ところが、使っていくうちにシリカが凝固してきてホース内に付着し、ラインが止まるなどのトラブルが発生した。現場では凝固したシリカをハンマーで叩いたりしていた。
現場改善事例
半導体・精密機器工場
研摩剤が凝固してホース内に付着し、ラインが止まってしまう!
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撥水性の良いトヨフッソホースをモニターで使用していただく。1カ月経過しても凝固が無く良好であったので問題解消!
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研摩剤が凝固してホース内に付着し、ラインが止まってしまう!
シリコンウェーハを製造している工場で、ウェーハ研摩装置の研磨剤のシリカ搬送用に塩ビホースを使用。ところが、使っていくうちにシリカが凝固してきてホース内に付着し、ラインが止まるなどのトラブルが発生した。現場では凝固したシリカをハンマーで叩いたりしていた。
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